Teknolojiyad
Epitaxy-ga molecular beam, ama MBE, waa farsamo cusub oo lagu kobciyo filimaan khafiif ah oo tayo sare leh oo kiristaalo ah oo ku yaal substrate-ka kiristaalo. Xaaladaha faakiyuumka aadka u sarreeya, foornada kuleylinta waxaa lagu qalabeeyaa dhammaan noocyada qaybaha loo baahan yahay waxayna soo saartaa uumi, iyada oo loo marayo godad la sameeyay ka dib marka la isku daro shucaaca atomiga ama molecular beam, si toos ah loogu duro heerkulka ku habboon ee substrate-ka kiristaalo ee keli ah, iyada oo la xakameynayo shucaaca molecular ilaa sawirka substrate-ka isla waqtigaas, waxay ka dhigi kartaa molecules-ka ama atamka lakabyada isku-xidhka kiristaalo si ay u sameeyaan filim khafiif ah oo ku yaal substrate "koritaan".
Si loogu shaqeeyo qalabka MBE, nadiifnimo sare, cadaadis hoose iyo nitrogen dareere ah oo aad u nadiif ah ayaa loo baahan yahay in si joogto ah oo joogto ah loogu qaado qolka qaboojinta ee qalabka. Guud ahaan, taangi bixiya nitrogen dareere ah wuxuu leeyahay cadaadis wax soo saar oo u dhexeeya 0.3MPa iyo 0.8MPa. Nitrojiin dareere ah oo ah -196℃ si fudud ayaa loogu uumi geliyaa nitrogen inta lagu jiro gaadiidka dhuumaha. Marka nitrojiin dareere ah oo leh saamiga gaaska iyo dareeraha ah ee qiyaastii 1:700 lagu shubo dhuumaha, waxay qabsan doontaa xaddi badan oo booska socodka nitrogen dareere ah waxayna yareyn doontaa socodka caadiga ah ee dhammaadka dhuumaha nitrogen dareere ah. Intaa waxaa dheer, taangi kaydinta nitrogen dareere ah, waxaa u badan tahay inay jiraan qashin aan la nadiifin. Tuubooyinka nitrogen dareere ah, jiritaanka hawada qoyan waxay sidoo kale horseedi doontaa abuurista baraf. Haddii wasakhdan lagu shubo qalabka, waxay sababi doontaa waxyeello aan la saadaalin karin oo soo gaarta qalabka.
Sidaa darteed, nitrogen-ka dareeraha ah ee ku jira haanta kaydinta bannaanka waxaa loo qaadaa qalabka MBE ee ku yaal aqoon-is-weydaarsiga aan boodhka lahayn iyadoo leh hufnaan sare, xasillooni iyo nadiif, iyo cadaadis hooseeya, oo aan lahayn nitrogen, aan lahayn wasakh, 24 saacadood oo aan kala go 'lahayn, nidaamka xakamaynta gaadiidka noocan oo kale ah waa badeecad u qalanta.
Qalabka MBE ee la jaanqaadaya
Tan iyo 2005, Qalabka HL Cryogenic (HL CRYO) wuxuu hagaajinayay oo horumarinayay nidaamkan wuxuuna la shaqeynayay soosaarayaasha qalabka MBE ee caalamiga ah. Soosaarayaasha qalabka MBE, oo ay ku jiraan DCA, REBER, waxay xiriir iskaashi la leeyihiin shirkaddayada. Soosaarayaasha qalabka MBE, oo ay ku jiraan DCA iyo REBER, waxay iska kaashadeen tiro badan oo mashaariic ah.
Riber SA waa shirkad hormuud u ah alaabada molecular beam epitaxy (MBE) iyo adeegyada la xiriira cilmi-baarista semiconductor-ka isku-dhafan iyo codsiyada warshadaha. Qalabka Riber MBE wuxuu ku shubi karaa lakabyo aad u khafiif ah oo walxo ah substrate-ka, iyadoo leh kontaroolo aad u sarreeya. Qalabka faakiyuumka ee HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) wuxuu ku qalabaysan yahay Riber SA Qalabka ugu weyn waa Riber 6000 kan ugu yarna waa Compact 21. Xaalad wanaagsan ayuu ku jiraa waxaana aqoonsaday macaamiishu.
DCA waa MBE-ka ugu horreeya adduunka ee oksaydhka. Tan iyo 1993, horumarinta nidaamsan ee farsamooyinka oksaydhka, kuleylinta substrate-ka antioxidant-ka iyo ilaha antioxidant-ka ayaa la sameeyay. Sababtan awgeed, shaybaarro badan oo hormuud ah ayaa doortay tiknoolajiyada oksaydhka DCA. Nidaamyada isku-dhafan ee semiconductor MBE ayaa loo isticmaalaa adduunka oo dhan. Nidaamka wareegga nitrogen-ka dareeraha ah ee VJ ee Qalabka HL Cryogenic (HL CRYO) iyo qalabka MBE ee noocyo badan oo DCA ah ayaa leh khibrad isku mid ah oo ku saabsan mashaariic badan, sida nooca P600, R450, SGC800 iwm.
Shaxda Waxqabadka
| Machadka Fiisigiska Farsamada ee Shanghai, Akadeemiyada Sayniska Shiinaha |
| Machadka 11-aad ee Shirkadda Tiknoolajiyada Elektarooniga ah ee Shiinaha |
| Machadka Semiconductors, Akadeemiyada Sayniska Shiinaha |
| Huawei |
| Akadeemiyada Alibaba DAMO |
| Shirkadda Powertech Technology Inc. |
| Delta Electronics Inc. |
| Suzhou Everbright Photonics |
Waqtiga boostada: Maajo-26-2021
